ZYGO在美國羅徹斯特國際光學(xué)產(chǎn)品技術(shù)展 （SPIE Optifab）中，推出了其全新一代的Verifire Asphere+ 非球面激光干涉儀（簡稱VFA+），并展示了最新的計(jì)量技術(shù)方案。

VFA+ 建立在上一代Verfire Aphere非球面干涉儀成功的基礎(chǔ)之上，基于拼接技術(shù)，使用標(biāo)準(zhǔn)球面標(biāo)準(zhǔn)鏡及干涉儀主機(jī)，就可以快速、非接觸、高分辨率地測量出軸向?qū)ΨQ的非球面表面形貌。

VFA+ 具備非球面測試能力的同時(shí)，也是一個(gè)高精度曲率半徑測試平臺(tái)。其專業(yè)的設(shè)計(jì)，能非常有效地隔絕環(huán)境震動(dòng)和氣流擾動(dòng)的影響，使其光學(xué)器件曲率半徑的測試重復(fù)性達(dá)到百納米的級(jí)別。

VAF+ 能完全覆蓋一臺(tái)高精度和穩(wěn)定的立式球面/平面激光干涉儀，基于其六個(gè)維度（X平移、Y平移、傾斜、俯仰、高低、旋轉(zhuǎn)）全自動(dòng)調(diào)整的樣品臺(tái)，用戶可以自主完成全自動(dòng)化的測試腳本程序。

除了擁有以上這些上一代Verfire Aphere已有的特點(diǎn)和優(yōu)勢之外，新的VFA+更新了強(qiáng)大的Mx軟件（ 點(diǎn)擊“Mx軟件”了解更多詳情），采用了更穩(wěn)定可靠的測量倉設(shè)計(jì)，更重要的是：

VAF+ 可以高速批量檢測，包括自由曲面在內(nèi)的非球面光學(xué)器件。

ZYGO的VFA+集成了一個(gè)可選的工作臺(tái)，用于放置轉(zhuǎn)換波前的全息板 (CGH)（ 點(diǎn)擊“全息板（CGH）”了解更多詳情）。基于CGH，VFA+ 可以測試包括自由曲面在內(nèi)的各類非球面，包括樣品校準(zhǔn)在內(nèi)的測樣過程，單次在十幾秒內(nèi)，就可以測得非球面3D相貌（百萬像素級(jí)數(shù)據(jù)密度），可以適用于各類自由曲面、圓柱及離軸圓錐曲面。

這一全新的技術(shù)方案，將打開大規(guī)模批量柔性光學(xué)制造技術(shù)的大門。從此，非球面光學(xué)加工質(zhì)量控制將變得更容易執(zhí)行，且更具有成本效益。

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