一鍵式全自動快速橢偏儀

Auto SE是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內(nèi)即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報告，包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。

Auto SE全自動化設(shè)計、一鍵式操作，功能齊全。配備自動XYZ樣品臺進行成像分析，自動切換微光斑，多種附件可選，以滿足不同的應(yīng)用需求。

Auto SE借助完整的操作向?qū)?，自動檢測并診斷問題，對故障進行處理，儀器維護簡單

Auto SE是用于快速薄膜測量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

事業(yè)部: 科學(xué)儀器

產(chǎn)品分類: 橢圓偏振光譜儀

制造商: HORIBA France SAS

概要：

全自動流程，薄膜分析更容易

高性能系統(tǒng)

光斑可視化，微光斑可至25x60 μm

功能齊全和靈活

智能診斷

配置：

光譜范圍：440-1000nm

光斑尺寸：7個尺寸微光斑全自動切換500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm

探測系統(tǒng)：CCD，分辨率2nm

樣品臺：真空吸盤，Z軸行程40mm

光斑可視系統(tǒng)：CCD攝像機-視野1.33x1 mm-分辨率10μm

量角器：固定角70°，也可選擇66°或61.5°

多種附件可選

測試時間：<2s，常規(guī)為5s

準(zhǔn)確性：NIST 100nm d ± 4?, n(632.8nm) ± 0.002

重復(fù)性：NIST 15nm ± 0.2 ?