產(chǎn)品詳細(xì)
ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire?激光干涉儀，繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI?激光干涉儀系列的所有優(yōu)點，融合了機械相移技術(shù)、創(chuàng)造性的數(shù)據(jù)采 集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補償軟件、非球面測量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等，是ZYGO技術(shù)的集中體現(xiàn)。 所有VeriFire?系列產(chǎn)品 都能提供標(biāo)準(zhǔn)的干涉測量，每種型號均具有特殊的應(yīng)用。Verif ire"系統(tǒng)真正的斐索型激光光路設(shè)計延續(xù)了zYG0在面形計量行業(yè)*與倫比的經(jīng)驗。共光路的設(shè)計結(jié)合ZYG0**的采集算法，和功能強大的批軟件實現(xiàn)了 高精度的表面計量與先進的分析能力。
關(guān)鍵性能：
? 斐索型共光路系統(tǒng)保證精密測量
? 友好的圖形用戶界面，易于生產(chǎn)線上操作
? 創(chuàng)新箅法使其在振動環(huán)境中也能實現(xiàn)準(zhǔn)確計量
? 利用先進的過程控制技術(shù)，快速提取測試中不變的信息
? 每一幀數(shù)據(jù)都將振動信息凍結(jié)
所有 Verifire? 系列產(chǎn)品都能提供標(biāo)準(zhǔn)的干涉測量,每種型號均具有特殊的應(yīng)用,列于下表:
| 型號: | XPZ | QPZ | ATZ | MST | Asphere |
| 核心技術(shù): | 相位移式干涉儀 (PSI) |
傅立葉轉(zhuǎn)換相位移 式干涉儀 |
**非球面演算 法相位移式干涉儀 |
||
| 光源: | 點光源 | 點光源和 Ring of Fire?環(huán)形光源(波紋抑制) | |||
| 變焦: | 自動 1-6X | 數(shù)位控制 1-5X | |||
| 聚焦: | 自動 | 數(shù)控步進焦距控制 | |||
| 解析度: | 640 × 480 圖元 | 1k × 1k 圖元 | |||
| 幀速: | 75 Hz | 100 Hz | 43 Hz | ||
ZYG0激光器長壽命、高功率、穩(wěn)頻
..........ZYG0專有的這款激光器的的激光功率和壽命均遠遠超過市售的激光干涉儀中常用的氦氖激光器。
..........其壽命評定超過60000小時，所以我們的激光器可以承諾3年免費質(zhì)保，很大限度地減少停機時間和提高您的投資回報率。
..........Verifire干涉儀系統(tǒng)提供平面、球面、光學(xué)系統(tǒng)及組件的透射波前的快速，高精度測量。
..........可以測量玻璃或塑料光學(xué)元件，如平板、透鏡和棱鏡，甚至精密機加工的金屬和陶瓷表面。
Smar tAveraging”技術(shù)
..........測量平均對于減少隨機噪聲源是一種非常有效的辦法，如空氣湍流的影響，但如何確定理想的平均次數(shù)是令人頭疼的-.
..........平均次數(shù)太少影響測試效果,次數(shù)太多則浪費測試時間。
..........Smar tAveraging技術(shù)是ZYC0的MXn軟件中一個特別的功能，可以自動計算評估并采用理想的平均次數(shù)。
..........Smar tAveraging Tm可以減少操作員的工作量,減少操作者的人為影響，增加測量結(jié)果的一致性。
QPSIM抗震型干涉計量
..........優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計結(jié)合高功率激光器,使ZYG0專有的QPS抗震干涉技術(shù)，能夠在震動環(huán)境中實現(xiàn)可靠的“零波紋”相位測量，并可以在質(zhì)量控制實驗室和生產(chǎn)現(xiàn)場提供準(zhǔn)確的表面計量。
 |
集成大量常用測量程序模塊
? 多個樣品的同時分析
|
|
|
簡單的定制過程，用戶可調(diào)
? 設(shè)定數(shù)控采集和數(shù)據(jù)處理過程中的各種參數(shù) |
 |
 |
強大的數(shù)據(jù)分析功能 ? 數(shù)據(jù)濾波和剪輯? 像差計算 ? PSF和MTF圖 ? 斜率圖/功率譜密度/環(huán)繞能 ? ASCII和"XYZ"數(shù)據(jù)格式 ? Zernike分析 ? 數(shù)據(jù)和圖像加減、縮放、旋轉(zhuǎn)和轉(zhuǎn)換 ? ZEMAX、CodeV和0SL0數(shù)據(jù)格式
|
|
系統(tǒng)
| 測量功能 | 精密測量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前 |
| 測量技術(shù) | QPSI快速機械相移模式和傳統(tǒng)的機械相移干涉模式（PSI） |
| 校準(zhǔn)系統(tǒng) | 快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線) |
| 測量光束直徑 | 4″（102mm）或6″（152mm） |
| 對準(zhǔn)視場范圍FOV | 4″：±3°；6″：±2°； |
| 光學(xué)中心線 | 4.25″（108mm） |
| 激光光源 | 大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，IIIa級 |
| 波長 | 633 nm |
| 頻率穩(wěn)定度 | < 0.0001 nm |
| 相干長度 | ＞100m |
| 成像分辨率 | 1024 x 1024像素 |
| 幀速 | 100Hz（PSI） |
| 數(shù)據(jù)采集時間 | 130-300ms |
| 數(shù)據(jù)模式 | 8位 |
| 放大 | 電控1-5X |
| 偏振 | 接近圓偏振（1.2：1或者更好） |
| 光曈調(diào)焦范圍 | 4″：±2.5m；6″：±5.5m； |
| 計算機和軟件 | 高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO**軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2） |
| 安裝構(gòu)造 | 水平臥式或垂直立式 |
| 附件 | 詳細(xì)參考ZYGO激光干涉儀附件向?qū)募?，OMP-0463 |
| 尺寸(長x寬x高) | 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） |
| 重量 | 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg） |
| 電源 | 100-240VAC，50/60Hz |
工作環(huán)境：
| 溫度 | 15°C - 30°C (59°F - 86°F) |
| 溫度變化率 | ＜1.0°C/15min |
| 濕度 | 相對濕度5% - 95% , 無凝結(jié) |
| 隔振 | QPSI模式可以在振幅不超過150nm的震動環(huán)境下進行測量；機械移相測量模式推薦使用被動隔振系統(tǒng)。 |
性能參數(shù)：
| RMS重復(fù)性（3） | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
| RMS波前重復(fù)性（4） | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
| 像素峰值偏差(5) | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
