產(chǎn)品詳細
新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀：
新型的ZYGO DynaFiz? 激光干涉儀是特別設(shè)計為在有空氣湍流和極端振動的環(huán)境中進行精確的光學(xué)計量的優(yōu)化的光學(xué)儀器。DynaFiz? 光學(xué)系統(tǒng)的長壽命，高功率氦氖激光源具有高的光效率，使得相機的高速快門能夠“凝固”振動。這種動態(tài)能力提供了在惡劣的環(huán)境中，傳統(tǒng)的時間相移技術(shù)不可能 實現(xiàn)的可靠的測量。
DynaFiz? 干涉儀的低噪聲，高分辨率相機和光學(xué)放大能力能夠清晰地觀察被測樣品表面的中間空間頻率特征。DynaFiz? 干涉儀具有獨特的實時數(shù)據(jù)獲取能力也給光學(xué)系統(tǒng)檢測提供了便利。LivePhase? 獲取能力提供了實時Zernike反饋為光學(xué)系統(tǒng)的光路對準(zhǔn)進行追蹤。這是一個電影形式，把一系列動態(tài)圖像連接成電影提供光學(xué)系統(tǒng)隨時間變化的過程。采用 具有獨特性能和多功能的ZYGO DynaFiz? 干涉儀將使你的計量得到很大的受益。只有從ZYGO你才能得到值得信賴的測量可靠性。
主要性能特點
? 可以在空氣擾動和極端震動的環(huán)境中進行動態(tài)測量；
? 更新的抗振模式QPSI快速機械移相法；
? 優(yōu)化的光學(xué)系統(tǒng)清晰呈現(xiàn)被測面的中頻信息；
? LivePhase技術(shù)能夠進行實時的Zernike分析；
? 影片模式捕獲、反映波陣面隨時間的變化情況；
? CARS功能，可以消除灰塵臟點引起的衍射環(huán)，及其對測試結(jié)果的影響
? DynaFiz校正算法，適用于高階和低階相差；
圖為：DynaFiz® Interferometer System
系統(tǒng)主要參數(shù)
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測量功能 |
精密測量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前 |
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測量技術(shù) |
DynaPhase動態(tài)測量技術(shù)；可選模式：機械相移測量（PSI） |
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校準(zhǔn)系統(tǒng) |
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動態(tài)模式 |
DyanaPhase 對準(zhǔn)向?qū)?zhǔn) |
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移相模式 |
快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點定位于十字線) |
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對準(zhǔn)視場范圍FOV |
±3° |
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測量光束直徑 |
4″（102mm） |
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光學(xué)中心線 |
4.25″（108mm） |
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激光光源 |
大功率穩(wěn)定氦-氖激光，IIIa 級 |
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波長 |
633 nm |
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頻率穩(wěn)定度 |
< 0.0001 nm |
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相干長度 |
＞100m |
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成像分辨率 |
1200 x 1200 像素 |
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幀速 |
50Hz（600 x 600 像素：82Hz） |
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數(shù)據(jù)模式 |
10位 |
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放大 |
電控塔臺切換，1X,1.7X,3X |
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偏振 |
接近圓偏振（1.2：1或者更好） |
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光曈調(diào)焦范圍 |
±2m |
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無線遙控 |
聚焦，放大，校準(zhǔn)控制；遙控范圍：15m |
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計算機和軟件 |
高性能DELL PC ， Windows7 ， 64 位， ZYGO **MetroproTM X軟件 |
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安裝構(gòu)造 |
水平臥式或垂直立式 |
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附件 |
參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募?，OMP-0463 |
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尺寸(長x寬x高) |
60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.)；帶移相器長度增加9cm（3.6in.） |
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重量 |
≤80lb（36 Kg）；帶移相器增加10lb（5kg） |
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電源 |
100-240VAC，50/60Hz |
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保修期 |
2年 |
在使用時有如下特性
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MX軟件功能強大，操作簡單
?集成大量常用測量程序模塊 
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簡單的定制過程，用戶可調(diào)
?設(shè)定數(shù)控采集和數(shù)據(jù)處理過程中的各種參數(shù) 適用于工業(yè)化生產(chǎn)的軟件
?質(zhì)量控制－－自動顯示“合格/不合格”
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